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密花岗石平台直线度的方法

发布时间:2013-05-16

密花岗石平台直线度的方法

用位移法可检测精密花岗石平台的直线度,用次方法可检测精密花岗石平台的平面度,将检测的结果经过算法换算,可得到精密花岗石平台的直线度和平面度的具体数值;其特点是精度不太高,但测量数据可靠,无“0”点漂移问题,特别适合于在线测量与检测精密花岗石平台。

精密花岗石平台直线度的方法可以通过精度为0.1μm的电容测微仪用位移法测量,其表头的示值即为精密花岗石平台的直线度的误差值;在此测量中,由于电感测微仪自身的“0”点漂移较严重,需经过长达24h的稳定后,其数值才可信,故使得精密花岗石平台加工与测量间的衔接时间增长。

更高精度精密花岗石平台的加工必须有更高一级精度的检测手段,目前常采用HP5528A或HP5529A动态校准仪,它的显示精度为1nm,可检测平面度、垂直度、直线度、时基即振动、角位移测量、对角测量等等。动态校准仪的检测精度特别高,但由于其复杂的光学系统和复杂的调试程序,尤其是光具返回光束的光强和保证在80%以上,否则光束将被挡住,这对精密花岗石平台调试者来说调试较困难,调试时间较长,调试方法不容易掌握